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随着真空技术的不断发展，真空设备在冶金工业被广泛应用。油扩散泵作为大多数高真空系统的主泵，具有结构简单，抽气速率高，容易获得高真空等特点，油扩散泵是以油蒸汽射流来携带气体达到抽真空目的。
1、高速的油蒸汽流从喷嘴喷出，形成伞形，只要气体分子碰到油蒸汽就极容易被携带走，而后达到泵的内壁上，泵壁是用冷却水冷却的，所以油蒸汽被冷凝成为油滴，沿泵壁流入油锅，气体分子不能被冷凝而放出。
2、油作为工作液装在下面油锅内，经过加热器加热变成油蒸汽，沿着导流管上升，由于喷嘴处的截面突然缩小，蒸汽流的速度提高。
3、油扩散泵的出口压力不能超过最大反压强，当扩散泵工作时出口压强过大，气体将由前级泵向扩散泵反扩散，改变油蒸汽分子的的定向运动，增大油蒸汽返流率。
4、油扩散泵入口障板的主要作用是，当扩散泵正常工作时，阻挡不规则运动的油蒸汽分子向被抽容器中返流的屏障。障板的结构对阻挡油分子的返流有很大关系。